従来の超高圧水銀ランプ光源に代わるLED光源ユニット。

LEDは水銀レスだけでなく、超高圧水銀ランプと比較し省電力・長寿命であり

環境負荷を低減します。

さらに、光源から熱線が出ない為、ワーク温度・環境温度上昇を抑制するだけでなく、

超高圧水銀ランプ特有の初期・末期の分光変化に起因する

工程管理の複雑さも解消します。

LED光源は単一波長の為、水銀ランプに比べて効率が劣りますが、本システムは

波長の異なるLEDで構成することによってLED光源の問題も解決しました。

コリメート1.5度以下、デグリネーション1.5度以下で

露光面照度30mW/cm2（5kW水銀ランプ相当）を実現しています。

265nm、280nm、285nm、300nmの深紫外LEDを使った最新のUV-LED照射器を、

お客様それぞれの仕様に見合ったカスタム設計でご提案いたします。

多波長混合UV-LED照射器も充実しています。

■165-SHU

主波長：365nmのファイバー導光式ランプ光源です。

■D210-SHU

主波長：300nm以下のファイバー導光式ランプ光源です。

石英ファイバーの射出部形状は、

スポット/ライン/2分岐式など、カスタム対応いたします。

低圧水銀ランプ（185nm/254nm）による表面洗浄/改質が、

小型バッチ式で登場！

写真の装置では、

8cm角のワークが簡単に表面処理できます。

オゾン触媒を背面に装着することで排気ダクトも不要です。